完全集成和校準(zhǔn)的MEMS慣性傳感器的出現(xiàn)，可能是促使平臺(tái)穩(wěn)定、工業(yè)機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制、安全/監(jiān)控設(shè)備、機(jī)器人、工業(yè)車輛導(dǎo)航和機(jī)械調(diào)平等領(lǐng)域系統(tǒng)升級(jí)的關(guān)鍵因素。

　　最近的傳感器技術(shù)發(fā)展使得工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)革命性的進(jìn)步。慣性傳感器能夠改善系統(tǒng)性能的應(yīng)用包括：平臺(tái)穩(wěn)定、工業(yè)機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制、安全/監(jiān)控設(shè)備、機(jī)器人、工業(yè)車輛導(dǎo)航和機(jī)械調(diào)平等。這種傳感器提供的運(yùn)動(dòng)信息非常有用，不僅能改善性能，而且能提高可靠性、安全性并降低成本。

　　然而，要想獲得這些好處，必須克服一些障礙，因?yàn)樵S多工業(yè)應(yīng)用處在惡劣的物理環(huán)境下，需要考慮溫度、振動(dòng)、空間限制和其他因素的影響。就工程師而言，為了從傳感器獲取一致的數(shù)據(jù)，將其轉(zhuǎn)換成有用的信息，然后在系統(tǒng)的時(shí)序和功耗預(yù)算內(nèi)做出反應(yīng)，工程師必須擁有多種技術(shù)領(lǐng)域的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，并且遵循良好的設(shè)計(jì)規(guī)范。

　　了解問題

　　來自慣性傳感器的信息經(jīng)過處理和積分后，可以提供許多不同類型的運(yùn)動(dòng)、位置和方向輸出。每種類型的運(yùn)動(dòng)都涉及到一系列應(yīng)用相關(guān)的復(fù)雜因素，對(duì)此必須加以了解。工業(yè)控制應(yīng)用就是一個(gè)很好的例子，某種形式的指向或轉(zhuǎn)向設(shè)備對(duì)這些應(yīng)用十分有用。傾斜或角度檢測(cè)常常是此類應(yīng)用的核心任務(wù)，在最簡(jiǎn)單的范例中，機(jī)械氣泡傳感器便可滿足需要。然而，在明確傳感器需求之前，必須分析最終系統(tǒng)的完整運(yùn)動(dòng)動(dòng)力學(xué)特性、環(huán)境、壽命周期和可靠性預(yù)期。如果系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)相對(duì)而言為靜態(tài)，簡(jiǎn)單的角度傳感器可能就足夠了，但實(shí)際的技術(shù)決策取決于響應(yīng)時(shí)間、沖擊和振動(dòng)、尺寸、整個(gè)壽命期間的性能漂移。此外，許多系統(tǒng)涉及到多種類型的運(yùn)動(dòng)(如旋轉(zhuǎn)和加速度等)，而且往往在多個(gè)軸上工作，這就需要考慮將多種類型的傳感器結(jié)合在一起。

　　一旦知道正確的傳感器類型和技術(shù)后，挑戰(zhàn)便轉(zhuǎn)移到了解和最終補(bǔ)償傳感器對(duì)環(huán)境(溫度、振動(dòng)、沖擊、安裝位置、時(shí)間和其他變量)的反應(yīng)。環(huán)境補(bǔ)償涉及到額外的電路、測(cè)試、校準(zhǔn)和動(dòng)態(tài)調(diào)整，而每種類型的傳感器，甚至每個(gè)傳感器都是獨(dú)一無二的，因此這又會(huì)帶來補(bǔ)償不足或過度的額外風(fēng)險(xiǎn)，除非工程師對(duì)傳感器特性有著詳盡的了解。最后這一點(diǎn)驅(qū)使許多設(shè)計(jì)工程師采用完全集成的傳感器解決方案，以便消除運(yùn)用和實(shí)施過程中的障礙。

　　慣性傳感器：線性速率和角速率傳感器

　　慣性傳感器有多種類型。MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器是最完善的傳感器類型之一，已經(jīng)使廣泛的應(yīng)用受益。15年前，MEMS線性速率傳感器(加速度計(jì))徹底革新了汽車安全氣囊系統(tǒng)。自此以后，從筆記本硬盤保護(hù)到游戲控制器中更為直觀的用戶運(yùn)動(dòng)捕捉，各種獨(dú)特的功能和應(yīng)用得以實(shí)現(xiàn)。

　　根據(jù)諧振器陀螺儀的原理，MEMS結(jié)構(gòu)也可提供角速率檢測(cè)。兩個(gè)多晶硅檢測(cè)結(jié)構(gòu)各含一個(gè)擾動(dòng)框架，通過靜電將擾動(dòng)框架驅(qū)動(dòng)到諧振狀態(tài)，以產(chǎn)生必要的運(yùn)動(dòng)，從而在旋轉(zhuǎn)期間產(chǎn)生科氏力。在各框架的兩個(gè)外部極限處(與擾動(dòng)運(yùn)動(dòng)正交)是可動(dòng)指，放在固定指之間，形成一個(gè)容性撿拾結(jié)構(gòu)來檢測(cè)科氏運(yùn)動(dòng)。當(dāng)MEMS陀螺儀旋轉(zhuǎn)時(shí)，可動(dòng)指的位置變化通過電容的變化進(jìn)行檢測(cè)，由此得到的信號(hào)被送入一系列增益和解調(diào)級(jí)，產(chǎn)生電速率信號(hào)輸出。某些情況下，該信號(hào)經(jīng)轉(zhuǎn)換后送入一個(gè)專有數(shù)字校準(zhǔn)電路。

　　傳感器內(nèi)核周圍的集成度和校準(zhǔn)由最終性能要求決定，但在許多情況下，可能需要進(jìn)行運(yùn)動(dòng)校準(zhǔn)，以便實(shí)現(xiàn)最高的性能水平和穩(wěn)定性。

　　工業(yè)環(huán)境：集成信號(hào)調(diào)理和傳感器處理

　　在工業(yè)市場(chǎng)上，諸如振動(dòng)分析、平臺(tái)校正、一般運(yùn)動(dòng)控制之類的應(yīng)用需要高集成度和高可靠度的解決方案，檢測(cè)元件在許多情況下是直接嵌入到現(xiàn)有設(shè)備中。此外，還必須提供足夠的控制、校準(zhǔn)和編程功能，使器件真正獨(dú)立自足。一些應(yīng)用范例包括：

　　工業(yè)機(jī)械的狀態(tài)監(jiān)控：通過將傳感器更深地嵌入機(jī)械內(nèi)部，并且藉由傳感器性能和嵌入式處理而更早、更準(zhǔn)確地掌握狀態(tài)變化的跡象，可以獲得切實(shí)的效益。

　　機(jī)器自動(dòng)化：通過提高精度，并且更加嚴(yán)格地將此信息與遠(yuǎn)程控制或編程設(shè)置的運(yùn)動(dòng)相關(guān)聯(lián)，可以使自治或遠(yuǎn)程控制的精密儀器和機(jī)械臂更加精確、高效。

　　移動(dòng)通信和監(jiān)控：無論是陸地、航空還是海運(yùn)交通工具，慣性傳感器都有助于其實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定(天線和相機(jī))和定向?qū)Ш?利用GPS和其他傳感器進(jìn)行航位推算)。

　　工業(yè)檢測(cè)市場(chǎng)異常紛繁多樣，必須通過集成嵌入式可調(diào)特性，如數(shù)字濾波、采樣速率控制、狀態(tài)監(jiān)控、電源管理選項(xiàng)和專用輔助I/O功能等，來支持各種不同的性能、集成度和接口要求。在其他更復(fù)雜的情況下，還需要采用多個(gè)傳感器和多種類型的傳感器。即使看起來很簡(jiǎn)單的慣性運(yùn)動(dòng)，例如僅限于一個(gè)或兩個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)，也可能需要同時(shí)采用加速度計(jì)和陀螺儀檢測(cè)來補(bǔ)償重力、振動(dòng)及其他不規(guī)則現(xiàn)象和影響。

　　傳感器還可能具有交叉靈敏度，很多時(shí)候必須對(duì)此進(jìn)行補(bǔ)償，即使無需補(bǔ)償，至少也需要加以了解。此外，慣性傳感器的性能指標(biāo)存在許多不同的標(biāo)準(zhǔn)，這使得上述問題的解決更加困難。當(dāng)指定慣性傳感器要求時(shí)，多數(shù)工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)工程師主要關(guān)心的是陀螺儀穩(wěn)定性(隨時(shí)間發(fā)生的偏置估算)，消費(fèi)級(jí)陀螺儀通常不會(huì)說明這一特性。如果傳感器的線性加速度性能較差，那么即使0.003°/s的良好陀螺儀偏置穩(wěn)定性也可能毫無意義。例如，假設(shè)線性加速度特性為0.1°/s/g，在旋轉(zhuǎn)±90°(1g)的簡(jiǎn)單情況下，這將給0.003°/s的偏置穩(wěn)定性增加0.1°的誤差。加速度計(jì)通常與陀螺儀一起使用，以便檢測(cè)重力影響，并且提供必要的信息來驅(qū)動(dòng)補(bǔ)償過程。

　　為了優(yōu)化傳感器性能并盡可能縮短開發(fā)時(shí)間，需要深入了解傳感器靈敏度和應(yīng)用環(huán)境。校準(zhǔn)計(jì)劃可以針對(duì)影響最大的因素進(jìn)行定制，從而減少測(cè)試時(shí)間和補(bǔ)償算法開銷。面向具體應(yīng)用的解決方案將適當(dāng)?shù)膫鞲衅髋c必要的信號(hào)處理結(jié)合在一起，如果具備高性價(jià)比并且提供現(xiàn)成可用的標(biāo)準(zhǔn)接口，這些解決方案將能消除許多工業(yè)客戶過去所面臨的實(shí)施和生產(chǎn)障礙。

　　利用加速度進(jìn)行振動(dòng)分析

　　在一些情況下，檢測(cè)元件相對(duì)靠近基本傳感器輸出端最佳，但在另一些情況下(例如通過振動(dòng)分析進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)控)，則需要增加相當(dāng)多的處理過程才能實(shí)現(xiàn)所需的輸出。圍繞慣性傳感器而構(gòu)建的高集成度器件的范例之一是ADI公司的ADIS16227(圖1)，它是一款完全自治的頻域振動(dòng)監(jiān)控器。此類器件可能不提供相對(duì)簡(jiǎn)單的g/mV輸出，而是提供應(yīng)用特定的分析。就ADIS16227而言，其嵌入式頻域處理、512點(diǎn)實(shí)值FFT和片上存儲(chǔ)器能夠識(shí)別各種振動(dòng)源并進(jìn)行歸類，監(jiān)控其隨時(shí)間的變化情況，并根據(jù)可編程的閾值做出反應(yīng)。

　　檢測(cè)和了解運(yùn)動(dòng)的能力幾乎對(duì)所有已設(shè)想到的應(yīng)用都具有價(jià)值。大多數(shù)情況下，人們希望掌控一個(gè)系統(tǒng)發(fā)生的運(yùn)動(dòng)，利用該信息提高性能(響應(yīng)時(shí)間、精度、工作速度等)，增強(qiáng)安全性或可靠性(系統(tǒng)在危險(xiǎn)情況下關(guān)機(jī))，或者獲得其他增值特性。但在某些情況下，不運(yùn)動(dòng)才是至關(guān)重要的，因此傳感器可用來檢測(cè)不需要的運(yùn)動(dòng)。這些特性或性能升級(jí)往往是在現(xiàn)有系統(tǒng)上實(shí)施，考慮到最終系統(tǒng)的功耗和尺寸顯然已確定，或者必須最小化，MEMS慣性傳感器的小尺寸和低功耗特性無疑極具吸引力。

　　某些情況下，這些系統(tǒng)的設(shè)計(jì)人員不是運(yùn)動(dòng)動(dòng)力學(xué)方面的專家，因此，當(dāng)決定是否進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)時(shí)，完全集成和校準(zhǔn)的傳感器存在與否可能是最關(guān)鍵的因素。

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