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- 壓力傳感器中硅微型應用趨勢
- 來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2015/10/20
壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種傳感器,其廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè),下面就簡單介紹一些常用傳感器原理及其應用。另有醫(yī)用壓力傳感器。
而用微機械加工技術制造的典型產(chǎn)品是硅微型壓力傳感器,對此美國日本和歐洲均已形成產(chǎn)業(yè)。硅微型壓力傳感器近幾年來發(fā)展很快,該傳感器主要應用于汽車工業(yè)和醫(yī)療保健領域。
硅微型壓力傳感器的特點是體積小,重量輕,沒有活動部件,可靠性高,又能大規(guī)模生產(chǎn)該傳感器,所以造價低。高可靠性,低成本對于汽車工業(yè)的要求可以說是非常適合的,因此在汽車工業(yè)中迅速擴展了它的應用領域。如自動剎車系統(tǒng)的壓車面壓力,輪胎壓力,氣囊壓力,傳動系統(tǒng)流體壓力,注入系統(tǒng)流體壓力,注入燃料壓力,發(fā)動機機油壓力。進氣管道壓力都有硅微型壓力傳感器額用武之地。
硅微型壓力傳感器在醫(yī)療保健領域里的最大應用產(chǎn)品是血壓監(jiān)視器。據(jù)稱一些大的醫(yī)療機械制造上每年要使用近500萬只壓力傳感器。此外,如婦女難產(chǎn)時監(jiān)控子宮壓力用的硅微型壓力傳感器,靜脈注射監(jiān)控藥液流動的傳感器等都是有相當數(shù)量的市場需求。其他許多醫(yī)療保健方面的應用也正在不斷開發(fā)中。
硅微型壓力傳感器基本上分成兩類:電容式和壓阻式。電容式的壓力傳感器包括一個薄膜,它作為可變空氣電容器的一個極板,當薄膜上承受壓力時,薄膜產(chǎn)生位移,從而改變電容值,利用這種變化經(jīng)過相應的電路處理,就可得到壓力值。壓阻式傳感器使用硅材料承受壓力時會產(chǎn)生電阻變化的原理制成,一般將4個硅材料的應變電阻構成惠斯通電橋來測量壓力。
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