1、壓阻式壓力傳感器的工作原理

　　壓阻式壓力傳感器是由平面應(yīng)變傳感器發(fā)展起來的一種新型壓力傳感器。它以硅片作為彈性敏感元件，任該膜片上用集成電路擴(kuò)散工藝制成四個(gè)等值導(dǎo)體電阻，組成惠斯登電矯，當(dāng)膜片受力后、由于半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)．電阻值發(fā)生變化，使電橋輸出而測得壓力的變化，利用這種方法制成的壓力傳感器叫壓阻式壓力傳感器。

　　相似于電阻應(yīng)變式傳感器　

　　其中

　　金屬電阻應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)主要利用 的應(yīng)變效應(yīng)，而半導(dǎo)體應(yīng)變片主要利用電阻率 的變化，這就是壓阻式壓力傳感器的基本原理，它是利用壓阻效應(yīng)的結(jié)果。


　　2、壓阻式壓力傳感器的特點(diǎn)      

　　結(jié)構(gòu)簡單、可微型化。

　　壓阻式壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)：

　　可測高頻
　　靈感度高
　　精度高
　　受溫度影響大

　　壓阻式壓力傳感器的缺點(diǎn)：      

　　量程小
　　不耐腐蝕
　　工藝復(fù)雜

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