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MEMS傳感器技術(shù)發(fā)展趨勢
來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/10/21

   隨著汽車電子、消費電子和醫(yī)療電子等行業(yè)的快速發(fā)展,市場對傳感器的需求呈現(xiàn)出快速增長的態(tài)勢。隨著感應(yīng)接口的需求不斷增加,消費領(lǐng)域?qū)EMS傳感器需求也不斷增長,智能手機(jī)和汽車領(lǐng)域?qū)EMS傳感器的需求也在不斷增大,這也將成長出越來越多的MEMS廠商,給MEMS市場帶來更加激勵的競爭和技術(shù)的不斷改進(jìn)和提升。

  在這些背景下,MEMS傳感器技術(shù)得到了快速的發(fā)展。與傳統(tǒng)的傳感器技術(shù)相比,MEMS技術(shù)生產(chǎn)的傳感器的特點是體積小、重量輕、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生產(chǎn)、智能化高,F(xiàn)在正處于高速發(fā)展期MEMS技術(shù)在未來的發(fā)展主要表現(xiàn)在以下幾個方面:

  第一,微型化的同時降低功耗,將會出現(xiàn)微米甚至納米級別的微型器件,同時功耗不斷降低;

  第二,微型化的同時提高精度,如:將MEMS加速度傳感器做到石英加速度傳感器的噪聲特性,保證MEMS陀螺儀小體積的同時獲得光纖陀螺儀的零偏穩(wěn)定性,且可提供遠(yuǎn)優(yōu)于光纖陀螺儀的抗沖擊特性;

   第三,集成化及智能化趨勢,即MEMS傳感器與IC的集成制造技術(shù)及多參量MEMS傳感器的集成制造技術(shù)得到發(fā)展,以及在集成化基礎(chǔ)上使得信號檢測具有一定的自動化。

  這些趨勢要求半導(dǎo)體廠商提供更高精度、穩(wěn)定性更好、更智能的高集成度MEMS傳感器模塊。例如,手機(jī)設(shè)備日漸趨向于使用組合傳感器,單一的加速度傳感器市場正在減小。小型器件的需求強勁,部分原因源于低端智能手機(jī)對6軸電子羅盤的需求增長。現(xiàn)在6軸慣性測量單元(IMU)的需求非常強烈,9軸組合傳感器的需求也將在未來幾年內(nèi)上來,這些來自消費領(lǐng)域的推動力迫使MEMS廠商采取新的策略,不斷提高傳感器的集成度。

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