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刨根問(wèn)底:MEMS傳感器特性大比拼(二)
來(lái)源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2012/12/5

  加速度傳感器

  加速度傳感器的原理是用彈簧支撐的紡錘隨著加速度而運(yùn)動(dòng),將這種運(yùn)動(dòng)和紡錘體之間的容量值的變化以電氣形式檢測(cè)出來(lái)。村田用了4個(gè)紡錘的獨(dú)特結(jié)構(gòu)才實(shí)現(xiàn)此功能。對(duì)于使用了4個(gè)紡錘所測(cè)量出的X、Y、Z3個(gè)軸的加速度情報(bào),可以得到其中一個(gè)自由度最大的情報(bào)。通過(guò)這個(gè)自由度可實(shí)現(xiàn)平時(shí)的自我診斷功能。因此,高信賴性已經(jīng)成為必要的車載傳感器的必要條件。
                   
 
                    圖2:加速度傳感器

        

                   圖3:加速度傳感器元件的結(jié)構(gòu)


           
                   圖4:加速度傳感器的特性圖

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