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中國MEMS如何發(fā)展?
來源:傳感器專家網 發(fā)表于 2012/6/28

  當前,美國、日本、德國、英國、俄羅斯等國家競相發(fā)展MEMS產業(yè)。我國MEMS產業(yè)與世界的差距也不算太大,甚至某些方面還有自己的獨創(chuàng)性貢獻。近年來,投資迅猛,其發(fā)展勢頭值得期盼。

  那么,我國應該如何走出一條自主特色的發(fā)展之路呢?

  由于MEMS產品種類繁多,生產工藝和標準體系難于有效整合,雖然MEMS產品可以用與半導體相同或者相近的生產線來制作,但只有少數(shù)幾類MEMS產品可以用大規(guī)模的foundry方式來生產,目前絕大部分MEMS產品都是以小批量方式生產的。這給世界MEMS產業(yè)發(fā)展帶來了一定的挑戰(zhàn)性,也將奠定今后MEMS傳感器生產可能是既不同于IC代工模式也不同于IDM模式的另一種模式:即仍然走設計fabless化,而制造卻小規(guī);、工藝可以多樣化。

  MEMS有特殊工藝和要求,這可能是2011年世界MEMS代工產業(yè)增長慢于世界MEMS總體產業(yè)增長的內在原因。據統(tǒng)計數(shù)據顯示,2011年全球MEMS市場規(guī)模為102億美元,增長率19%,而前二十大微機電系統(tǒng)(MEMS)代工廠的營收僅比2010年增長了5%。目前,MEMS代工業(yè)務在全球市場所占比例較小,不到6%;另外,MEMS代工廠營收在全球總體營業(yè)額中所占份額呈減少趨勢。

  我國半導體制造廠和設計公司規(guī)模小、工藝分散、工藝制作水平相對落后,但這可能成為今后MEMS產業(yè)發(fā)展的一大特點和優(yōu)點。因為大部分MEMS產品都不必非要用最先進、最尖端的IC工藝生產線來制作,只要產品設計理念先進、應用目標清晰、市場定位明確,用落后幾代的半導體生產線照樣可以制作出一流水平的MEMS產品。

  我國可以利用世界MEMS產業(yè)剛剛起步的機會,從產業(yè)現(xiàn)狀出發(fā),奮起直追,變“墨點為梅花”般地巧妙而及時的轉型和發(fā)展。

   第一,繼續(xù)發(fā)揮中低端產品成本低的優(yōu)勢,力爭在中低端領域實現(xiàn)“通吃”;第二,逐步向產業(yè)鏈高端發(fā)展,不斷提高高價值MEMS傳感器產品比重;第三,國家適度規(guī)劃,盡可能推出能夠引導行業(yè)發(fā)展的并且能與世界MEMS技術標準相兼容的國家標準;第四,促進各類MEMS產業(yè)聯(lián)盟、合作組織和學術交流與合作等發(fā)展;第五,同步進行MEMS傳感器生產設備研發(fā),培養(yǎng)高級MEMS產品設計人員等。

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